第122章 震惊，101所的年度计划（2 / 2）

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pa000的说明书就是个教程，光线的强度多少，对应世面上的光刻胶曝光的时间，还有不同的掩膜版参数所需要的距离。

实际的操作比清大的光刻机要简单了很多。

只需要在面板上，将光刻胶的类型参数，掩膜版的类型参数，pa000有计时器，曝光时间到了，自动终止，转到下一个位置曝光，一直到整个晶圆完成。

赵国庆对何振华说：“看明白了吗？”

何振华长呼一口气，说：“了不得，你看看，晶圆上工台之后，这套自动化检测就了不得，不知道他们是怎么做到的，蚀刻过后，晶圆再次上工台，竟然可以自动复位，这可是微米级别的。”

赵国庆摇摇头，说：“我也想知道啊，我打算请沪市精密仪器厂，还有科院自动化研究院的人过来看看，用的啥原理，你的的光刻机要是装上了这种工台，也算鸟枪换炮了！”

何振华说：“你还嫌弃我们清大的机器，我们现在也算解决了一微米制程，比起国外也不落后！”

赵国庆笑道：“得了吧，还一微米制程，那良品率，谁要是买了你家光刻机，亏了连裤子都要当掉，没有九成以上的良品率就别说解决了，还有你看看人家制造一片晶圆要多长时间，你们要多长时间，你们用在校准上的时间，人家都已经造出好几片晶圆了！”

一片晶圆就含几百块芯片，就这效率就秒杀清大的。

这话说的没错，何振华也没什么好反驳的，但不管怎么说，清大微电子也可以制造一微米制程的芯片，这很重要。

不到一个时的时间，在所有人的关注下，芯片经过上胶，烘干，曝光，清洗，蚀刻多道工序，顺利完成，还有专门的人在记录，制定操作规程。

pa000自带检测工具，每一次操作都会评估工序的效果，根据显示的数据，可以选择延长曝光时间，或者提前结束，所以晶片完成后，也不需要再上电子显微镜观测。

不过切割之后，赵国庆还是留下一片放到显微镜下面观测，看了几分钟，赵国庆喊何振华来看。

他上眼一看，又看看放大的倍率，说：“你这是一微米制程”

“你以为呢？”

何振华又扒着目镜继续看看，显微镜下，芯片的结构一览无余。

规整的布线，蚀刻基本上差不多的宽度和深度，平滑的边缘。

“这芯片跟艺术品差不多！”

赵国庆长呼一口气，这还不是最先进的光刻机，日本的尼康跟佳能的光刻机要更好，即便如此，已然超出他的预料，需要在基础上下的功夫太多了。

“这一微米跟一微米也是有很大差距啊！”

何振华看了半天，意犹未尽，对赵国庆说：“赵所长，你刚才说的话当不当真？”

赵国庆眉头微皱，说：“我刚才说什么了？”

“你说我是不是可以待着这，我刚才想好了，我要在这呆一段时间！”

赵国庆笑道：“可以是可以，不过你不能白来吧！”

“怎么，你还要跟我要钱？”

赵国庆招招手，贾鹏飞几个走过来。

“我帮我101所带带学生，这不过份吧！”

“……”

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