第一百三十一章 光刻机技术路线（2 / 2）

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我想知道为什么前辈你这么看好arf。”

arf和krf是光刻技术中使用到的深紫外光源，目前主流厂商采用的全部都是krf。

asl和台积电合作，在林本坚的带领下，最早开始大规模往arf方向投入，这也是后续asl实现技术垄断的关键因素之一。

说到这里就多说两句，大家都知道光刻机是半导体制程中的关键设备，用于将设计图案转移到晶圆上。

但是具体光刻机是怎么作业的，很多人并不是那么清楚。简单来说先在晶圆表面涂上一层光敏性的光刻胶，这种光刻胶会在紫外光照射下发生化学反应，然后改变它的溶解性。

国内光刻机被卡脖子，光刻胶同样被卡脖子。

然后使用光掩膜，一个上面有着细微图案的透明载体，细微图案代表了集成电路中的不同元件和互连。光掩膜被放置在光刻机的光源和硅晶圆之间。

光刻机中的光源（krf或者arf）照射到光掩膜上。

光通过图案的开放区域，被阻挡的部分与图案相对应。

然后，光通过投影光学系统，该系统将图案缩放并聚焦到硅晶圆上涂有光刻胶的表面。

经过曝光后，光刻胶中的光敏材料发生化学变化。

在阳性光刻胶中，曝光区域变得更容易溶解；在阴性光刻胶中，曝光区域变得更不容易溶解。

将硅晶圆浸入显影液中，溶解掉光刻胶中发生化学变化的区域。这样，光掩膜上的图案就被准确地转移到硅晶圆表面的光刻胶上。

光刻胶图案形成后，通过刻蚀、掺杂或金属沉积步骤将逐层构建出完整的芯片。

在没有线上百科，不对，现在已经有ra百科了，总之能够准确说出arf和krf证明周新在光刻机领域还是有比较深入研究的。

毕竟很多光刻机领域的从业人员都不知道还有arf这条技术路线。

林本坚说：“arf的波长是193n，而krf光源的波长是24八n，较短的波长有助于实现更高的分辨率和更精细的图案。”

周新问：“但是arf他在具体处理更小的制程节点的时候，会出现更多的线性波动和不规则性。

虽然arf波长更短，但是它的不可控性更高。

这对于工业化生产来说是大忌。这才是为什么尼康也好，asl也好，在尝试过arf之后，都不愿意继续朝着这个方向投入研发成本的最重要原因吧。”

周新话音刚落，林本坚脸色大变，周新知道arf和krf，这他能理解。

因为这些都是发表在公开期刊上的内容，但凡对光刻机感兴趣的人，都有机会阅读到。

但是周新能够准确说出不往arf方向投入的原因，即便从业人员，都没有办法知道的内容。

无尽的昏迷过后，时宇猛地从床上起身。

他大口的呼吸起新鲜的空气，胸口一颤一颤。

迷茫、不解，各种情绪涌上心头。

这是哪？

随后，时宇下意识观察四周，然后更茫然了。

一个单人宿舍？

就算他成功得到救援，现在也应该在病房才对。

还有自己的身体……怎么会一点伤也没有。

带着疑惑，时宇的视线快速从房间扫过，最终目光停留在了床头的一面镜子上。

镜子照出他现在的模样，大约十七八岁的年龄，外貌很帅。

可问题是，这不是他！下载星星阅读app，阅读最新章节内容免费

之前的自己，是一位二十多岁气宇不凡的帅气青年，工作有段时间了。

而现在，这相貌怎么看都只是高中生的年纪……

这个变化，让时宇发愣很久。

千万别告诉他，手术很成功……

身体、面貌都变了，这根本不是手术不手术的问题了，而是仙术。

他竟完全变成了另外一个人！

难道……是自己穿越了？

除了床头那摆放位置明显风水不好的镜子，时宇还在旁边发现了三本书。

时宇拿起一看，书名瞬间让他沉默。

《新手饲养员必备育兽手册》

《宠兽产后的护理》

《异种族兽耳娘评鉴指南》

时宇：？？？

前两本书的名字还算正常，最后一本你是怎么回事？

“咳。”

时宇目光一肃，伸出手来，不过很快手臂一僵。

就在他想翻开第三本书，看看这究竟是个什么东西时，他的大脑猛地一阵刺痛，大量的记忆如潮水般涌现。

冰原市。

宠兽饲养基地。

实习宠兽饲养员。

御兽师？