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第一百三十一章 光刻机技术路线(2 / 2)



《千禧年半导体生存指南》转载请注明来源:新笔趣阁(biqug.net)

我想知道为什么前辈你这么看好arf。”

arf和krf是光刻技术中使用到的深紫外光源,目前主流厂商采用的全部都是krf。

asl和台积电合作,在林本坚的带领下,最早开始大规模往arf方向投入,这也是后续asl实现技术垄断的关键因素之一。

说到这里就多说两句,大家都知道光刻机是半导体制程中的关键设备,用于将设计图案转移到晶圆上。

但是具体光刻机是怎么作业的,很多人并不是那么清楚。简单来说先在晶圆表面涂上一层光敏性的光刻胶,这种光刻胶会在紫外光照射下发生化学反应,然后改变它的溶解性。

国内光刻机被卡脖子,光刻胶同样被卡脖子。

然后使用光掩膜,一个上面有着细微图案的透明载体,细微图案代表了集成电路中的不同元件和互连。光掩膜被放置在光刻机的光源和硅晶圆之间。

光刻机中的光源(krf或者arf)照射到光掩膜上。

光通过图案的开放区域,被阻挡的部分与图案相对应。

然后,光通过投影光学系统,该系统将图案缩放并聚焦到硅晶圆上涂有光刻胶的表面。

经过曝光后,光刻胶中的光敏材料发生化学变化。

在阳性光刻胶中,曝光区域变得更容易溶解;在阴性光刻胶中,曝光区域变得更不容易溶解。

将硅晶圆浸入显影液中,溶解掉光刻胶中发生化学变化的区域。这样,光掩膜上的图案就被准确地转移到硅晶圆表面的光刻胶上。

光刻胶图案形成后,通过刻蚀、掺杂或金属沉积步骤将逐层构建出完整的芯片。

在没有线上百科,不对,现在已经有ra百科了,总之能够准确说出arf和krf证明周新在光刻机领域还是有比较深入研究的。

毕竟很多光刻机领域的从业人员都不知道还有arf这条技术路线。

林本坚说:“arf的波长是193n,而krf光源的波长是24八n,较短的波长有助于实现更高的分辨率和更精细的图案。”

周新问:“但是arf他在具体处理更小的制程节点的时候,会出现更多的线性波动和不规则性。

虽然arf波长更短,但是它的不可控性更高。

这对于工业化生产来说是大忌。这才是为什么尼康也好,asl也好,在尝试过arf之后,都不愿意继续朝着这个方向投入研发成本的最重要原因吧。”

周新话音刚落,林本坚脸色大变,周新知道arf和krf,这他能理解。

因为这些都是发表在公开期刊上的内容,但凡对光刻机感兴趣的人,都有机会阅读到。

但是周新能够准确说出不往arf方向投入的原因,即便从业人员,都没有办法知道的内容。

无尽的昏迷过后,时宇猛地从床上起身。

他大口的呼吸起新鲜的空气,胸口一颤一颤。

迷茫、不解,各种情绪涌上心头。

这是哪?

随后,时宇下意识观察四周,然后更茫然了。

一个单人宿舍?

就算他成功得到救援,现在也应该在病房才对。

还有自己的身体……怎么会一点伤也没有。

带着疑惑,时宇的视线快速从房间扫过,最终目光停留在了床头的一面镜子上。

镜子照出他现在的模样,大约十七八岁的年龄,外貌很帅。

可问题是,这不是他!下载星星阅读app,阅读最新章节内容免费

之前的自己,是一位二十多岁气宇不凡的帅气青年,工作有段时间了。

而现在,这相貌怎么看都只是高中生的年纪……

这个变化,让时宇发愣很久。

千万别告诉他,手术很成功……

身体、面貌都变了,这根本不是手术不手术的问题了,而是仙术。

他竟完全变成了另外一个人!

难道……是自己穿越了?

除了床头那摆放位置明显风水不好的镜子,时宇还在旁边发现了三本书。

时宇拿起一看,书名瞬间让他沉默。

《新手饲养员必备育兽手册》

《宠兽产后的护理》

《异种族兽耳娘评鉴指南》

时宇:???

前两本书的名字还算正常,最后一本你是怎么回事?

“咳。”

时宇目光一肃,伸出手来,不过很快手臂一僵。

就在他想翻开第三本书,看看这究竟是个什么东西时,他的大脑猛地一阵刺痛,大量的记忆如潮水般涌现。

冰原市。

宠兽饲养基地。

实习宠兽饲养员。

御兽师?


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